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椭偏仪测介质薄膜厚度和折射率
椭偏仪测量介质薄膜厚度和折射率的原理是：当一束椭圆偏振光（简称椭偏光）以一定的入射角照射到薄膜介质样品上时，光会在多层介质膜的交界面处发生多次折射和反射。在薄膜的反射方向得到的光束的振幅和位相变化情况与膜的厚度和光学常数有关。因此，可以根据反射光的特性来确定薄膜的光学特性。椭偏仪的基本光路图包括激光器、起偏器、1/4波片等组成部分。通过测量反射光的偏振态之变化，就可以确定出薄膜的厚度和折射率。
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